二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293830601 待售
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ID: 293830601
晶圆大小: 6"
优质的: 2019
Furnace, 6"
Process: Poly
SECS/GEM
(5) Zones
CE Mark certified
System controller: WAVES
Temperature range: 500-1000°C
Temperature controller: 560-A
Front surface finish: White
O-Ring tube seal
Signal lamp tower
Gas leak detection
Wafer type: FLAT
Wafer handler type: 5 Fork
Fork material: Alumina
Stocker: 21 Carrier
Load size: 170
Transfer stage wafer position sensor
Fork wafer position sensor
MFC type: Horiba STEC
Pressure display units: MPA
Control pressure sensor: MKS 623B
Main valve heated lines
TORR and MPA Pressure display units
CKD-VEC-R Main valve
Cooling water connection: Bottom
Incoming gas connection: Top
Vacuum foreline: Bottom
Furnace exhaust connection: Top
Vent exhaust connection: Top
Gas unit exhaust connection: Top
Pressure relief drain: Bottom
Cabinet exhaust display units: TORR
Internal UPS
FUJI M-UPS GX100
Gas / MFC Model / Line / MFC Size
N2 / Aera / ¼” / 20 L
N2 / Aera / ¼” / 5 L x 5
SiH4 / Aera / ¼” / 500cc x 2
H2 / Aera / ¼” / 200cc x 3
0.5% BCl3/H2 / Aera / ¼” / 100cc x 3
Power supply: 120 V, 1Phase + 480 V, 3Phase
2019 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi是为大批量生产半导体器件而设计的最先进的扩散炉设备。它是一种高度先进和通用的工具,可精确控制扩散过程,从而提高设备性能和产量。TEL Alpha 8SEi配备了尖端技术和创新功能,使其成为全球领先半导体制造商的首选。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi的一个关键特征是其独特的水平炉设计，它允许掺杂物质高效且均匀的扩散到硅片表面。此设计最大程度地减少了缺陷,并确保整个晶片的设备特性一致,从而提高了产量和整体设备性能。水平配置还可以轻松加载和卸载晶片,减少停机时间并提高生产率。Alpha 8SEi能够处理广泛的加工气体和掺杂材料，使其适合各种扩散应用。它提供高达1200 °C的精确温度控制,允许定制扩散剖面以满足特定的设备要求。该系统配备了先进的气流控制机制和过程监测能力，以确保可靠和可重复的扩散结果。除了其初级扩散炉外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi还配有一系列附件和选项，可增强其性能和多功能性。这些附件包括一个专用的气体处理单元，一个计算机化的控制接口，以及先进的晶圆处理机制。机器可以与一系列自动化解决方桉集成，如机器人晶圆传输系统和先进的过程控制软件，以进一步精简生产工作流程，提高整体效率。TEL Alpha 8SEi的设计注重安全性和可靠性,具有高级安全联锁、温度过高的保护机制和全面的诊断工具。该工具按照严格的质量标准制造，经过严格的测试，以确保其在大批量生产环境中的耐用性和长期可靠性。TEL提供全面的培训和支持服务，帮助客户最大化TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi资产的性能和效率。总体而言,Alpha 8SEi扩散炉模型是一种前沿工具,可为半导体制造应用提供无与伦比的精度、可靠性和多功能性。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi凭借其创新的设计、先进的功能和全面的支持服务,是寻求在生产过程中实现高产率、卓越设备性能和卓越运营的半导体制造商的理想选择。
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