二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha DS10 #9381895 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA DS10是一种高科技扩散炉和附件，能够进行广泛的扩散过程。TEL Alpha DS10专为制造硅、化合物和MOS、MEMS等先进半导体器件而设计。它还能够容纳高长宽比和交错的透晶圆孔。该炉配有用于有效和均匀晶圆加工的水平穿梭机，以及用于改进和稳定加工的射频发生器和气体输送设备。TOKYO ELECTRON ALPHA DS10具有许多有助于扩散过程的元件。主要部件为红外探测器、石英乘法器、射频发生器、质量流量控制器、气体入口和真空泵。红外探测器监视炉子的温度，确保它在特定过程所需的范围内。石英crucible在扩散过程中保持晶片，而射频发生器则辅助晶片的扩散。Alpha DS10专为大批量生产而设计。它配备了一个自动晶片处理系统，能够每小时装载和卸载高达一千个晶片。该单元还采用双室设计，允许同时应用两种不同的温度。该机器还提供了一种气体节约工具，可确保节省高达30%的电力。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA DS10还具有操作员高度的安全性和安全性。炉子配有先进的清洁设备和安全监控资产。安全监测模型确保对所有基本数据点进行监测，并确保它们在可接受的操作范围内。该炉还设有一个内部循环风扇，其设计目的是帮助保持室内的均匀温度和分散的气流，同时相应地监测放射性射线、X射线、电离辐射和暴露在更高电压下的情况。所有这些功能都集中于确保设备高效、安全地运行。总体而言，TEL Alpha DS10是一种高性能、精密的扩散炉和配件，专为最先进的半导体制造而设计。它在扩散过程中提供了高度的准确性、重复性和稳定性，同时为操作员提供了最高级别的安全保障。