二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-M #9402239 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-M是为制造半导体材料而设计的扩散炉及配件。它是一种具有高效热氧化和离子注入系统的单晶圆扩散炉，能够处理大型晶圆。该扩散炉设计用于提供精确的温度和压力控制，从而能够精确控制扩散过程。它配备了先进的自动调谐功能，使其能够精确调整必要的参数，以确保最佳效果。TEL Formula-1S-M还具有高效晶片传输电机和高效水冷设备，能够快速冷却新鲜加工的晶片。它能够在一定温度范围（最高2,500 °C）下运行,因此您可以确保在快速的过程时间内保持高温。该系统还具有均匀性控制，并与一系列轨道安装和非轨道安装的晶圆尺寸兼容。TOKYO ELECTRON Formula-1S-M扩散炉还包括多个无烤箱加工室，由独立控制。这样就可以精确控制和统一整个晶片。它配备了双聚焦扫描电子显微镜（SEM），因此可以实时验证过程。此外，该装置设计为提供可靠性和可重复性，从而能够精确控制扩散过程。Formula-1S-M扩散炉设计用于交流电电压和功率。其输入电压范围为190至255伏，最大功率约为200安培。该炉还配备了一系列安全功能，包括绝缘监测装置和过温截止电路。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-M扩散炉是制造半导体材料的可靠高效的机器。它提供了高精度、控制和过程可重复性,并结合了高级自动调整功能,以实现最佳性能。此外,它还具有一系列安全操作功能,设计用于轨道安装和非轨道安装晶片。