二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula 2L1B #9309492 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula 2L1B是一种两级水平扩散炉及其配套配件，专门为满足基于光刻工艺应用的要求而设计。该设备具有卓越的温度均匀性、高通量和严格的精度。该2L1B有两个不同的炉室：加工室和RTP室。该工艺室容纳产品晶片，并由上部和热板管加热，从而在整个晶片上产生最佳的温度均匀性。热板温度是独立调节的，使得每个晶片都能精确的温度控制。RTP腔室设计用于快速热处理,从而缩短处理时间,从而提高吞吐量。2L1B的附件包包括冷却鼓风机、排气管、稀释管和安全面板等。冷却鼓风机有助于在加工后有效冷却产品晶片，排气管有效地排出加工室内的废气。稀释管有助于调节和调节两个腔室的管温。安全面板采用互锁系统，确保安全的工艺环境。该2L1B还具有先进的温度和水控制系统，以进一步提高工艺质量。温度控制系统监测并维持每个炉膛的调节温度，确保高工艺均匀性。水控系统提高了温度均匀性，提供了出色的温度精度和稳定性，使晶圆质量更好。总体而言，TEL配方2L1B是光刻工艺应用的绝佳选择。其两级卧式炉设计和综合附件包保证了优越的温度均匀性、高通量和优越的温度精度和稳定性。该设备具有广泛的可选功能和升级功能,使其成为市场上最强大的扩散系统之一。