二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula Nitride #9222338 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Formula Nitride
ID: 9222338
晶圆大小: 12"
Vertical LPCVD Furnaces, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Formula Nitride是一种扩散炉设备,能够异常的高温控制和精确的气体输送。它具有极好的稳定性和耐用性,而且维护最少,而且能够加工多种材料。该系统由扩散炉、喷嘴组件和精密气体供应组成。扩散炉由铝体、内部陶瓷体、双壁式炉门和温度测量单元组成。炉房上部装有耐火陶瓷滚筒,炉房下部装有陶瓷张力环。精密供气机由一个气体溷合室、几个阀门和一个压力/流量计组成。喷嘴组件包括一个扩散喷嘴、一个敞开的顶塞和一个供氮管。TEL公式氮化物扩散炉能够在至少700C到1100C的温度范围内运行。温度由内部高精度热调节器控制,该调节器补偿环境温度和压力变化。敞开的顶塞可以方便地插入和去除材料,同时仍然保持一个紧密的密封,可以防止氧气进入腔室。利用集成供气工具,可以精确控制扩散炉内气体的种类和浓度,从而实现精确的气体反应控制。扩散器喷嘴确保样品上气体流动均匀,降低了不均匀扩散的风险。TOKYO ELECTRON FORMULA氮化物扩散炉是高温扩散过程中可靠可靠的解决方桉,实现了高质量、一致的结果。其令人印象深刻的温度精度和均匀的气流,加上严密可靠的密封,使其成为各种扩散过程的理想选择。即使大量使用,它的使用寿命也很长,所需的资产维护也很少。简而言之,氮化方程式扩散炉是一种有效可靠的高性能扩散工艺解决方桉。
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