二手 TEL / TOKYO ELECTRON H-LP #9137193 待售

TEL/TOKYO ELECTRON H-LP是一种扩散炉，专为传递精确的热过程和维持洁净室条件而设计。该炉的目的是通过提供半导体生产过程中必需的退火处理来批量生产微电子元件。也可用于使用各种热过程，如氧化、外延、合金化等，统一制造大量底物。TEL H-LP扩散炉由热循环设备、机器人转移设备和自动控制软件三大部分组成。热循环设备负责通过加热和冷却来控制热过程。它是专门为同时、高效地容纳最多3个模块而设计的。机器人转移系统负责在清洁室环境中自动取回基板并将其放入炉内。自动化控制软件旨在通过实时调整参数来监控和简化生产过程。TOKYO ELECTRON H-LP扩散炉具有多种特点，可提高热过程的精度和效率。例如,其独特的强制冷却装置利用固定安装式鼓风机的空气来控制温度波动,同时确保不会对室内材料造成污染。此外，它的自动伺服机配备了无线遥控器，允许用户从安全距离调整和微调过程。此外，加热器链条经过专门设计，可以使用优化的PID控制算法，确保整个腔室的加热温度均匀。此外，H-LP扩散炉还具有各种安全特性。其抗倾斜结构确保刀具在加工过程中保持稳定，不会振动或移位。它还配备了一个先进的24小时安全监测资产，用于跟踪设备的状况，并在发生任何问题时提醒操作员。此外，自动填充冷却剂装置确保在关键时刻提供必要的冷却剂，以防止炉子达到可能导致过度加热的高温。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON H-LP扩散炉是清洁室环境中精确热处理的绝佳选择。这种多用途的机器提供了许多功能，以最大限度地提高精度和效率，同时提高安全性。其独特的设计，结合方便的配件，使其成为各种微电子生产工艺的宝贵工具。