二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR #9381856 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR是为微电子器件精密制造而设计的扩散炉及配件设备。这种先进的系统采用多层结晶膜、热稳定工艺以及对温度和流量的高度控制，使微观制造成为可能。该单元适用于用于制造新材料或结构的各种工艺。TEL Indy-I-LVPCKNR有几个部件，包括一个用于存放待加工物料的熔炉、一个加热器、一个流量计、一个气源、一个真空机和一个排气工具。Crucible由高品位的不锈钢铣削而成，并具有内置射频加热器的铂合金衬里。Crucible的设计目的是在整个过程中提供极其稳定的温度，并允许对材料过程的温度和空间进行精确控制。内置的射频加热器允许更快的加热周期，从而创造更大的吞吐量。加热器用于达到所需温度,通常在850至800摄氏度之间。加热器由高温合金制成，具有可调冷却资产，以维持所需温度。气源和流量计允许引入各种气体进行处理，具体取决于应用情况。例如，氮气可用于氧化和退火过程，而形成气体则可用于材料forDeposition1ing。真空模型有助于确保腔室和材料在过程中保持无污染物。TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR还具有几个安全特性，如低温传感器、用于检测腔室超压的压力开关和电源故障指示器。这些安全功能有助于确保设备在使用过程中的安全性和可靠性。排气系统收集和消散污染物，同时在冷却过程中也将腔室排出。Indy-I-LVPCKNR的设计达到了最高的效率和准确性。由于工艺参数的准确性,它可以实现更快的生产周期和更高的产量,这些参数由于设备的设计和安全特性而受到控制。该机采用多层结晶膜、热稳定工艺、精密控制，是微电子器件精密制造的绝佳选择。