二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381811 待售
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ID: 9381811
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Rapid cooling unit
Pump box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
GFC Display
Load port: Side FFU
FIMS Port
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
PN2
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing Parts:
QUARTZ Wares
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一种扩散炉和一套伴随的配件。该炉旨在为各种应用提供先进的半导体器件加工。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一种高温、高纯度、水平扩散炉。该炉能够达到高达1,730摄氏度的温度。采用三区设计，保证扩散过程中温度均匀。炉子使用独立的惰性气源，以确保设备在加工过程中的清洁和安全环境。随附的附件设计为提供完整的扩散处理解决方桉。附件包括电子回旋共振等离子体源、TCA（热电冷却组件）、加载晶片的自动放大器、带有自动晶片传输设备的负载端口以及高真空系统。TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI包含了几个特性，以最大限度地提高扩散过程的效率。该炉具有自动调谐功能，可最大限度地减少设置时间，具有监控过程参数的监控单元，以及具有图形用户界面的强大数据采集机。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一种可靠、安全且易于使用的工具,可满足广泛的工艺要求。其关键特性使其成为先进设备处理的绝佳选择。炉及配件可靠且维护程度低，设计可提供较长的使用寿命。这种熔融的二氧化硅工艺管提供卓越的隔热，以确保扩散过程中的温度一致和均匀。这种强大的扩散炉和附件套件为用户提供了先进的设备处理应用的综合解决方桉。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI的设计满足了半导体器件加工行业最严格的需求。
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