二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381823 待售
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ID: 9381823
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Type: LPCVD
Rapid cooling unit
Pump box
Power box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
GFC Display
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
(2) Boat systems KAWASAKI
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing parts:
(2) Hard Disk Drives (HDD)
QUARTZ Wares
Manifold accessory
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是为高效半导体器件制造而设计的扩散炉及配件。该设备用于在IC处理过程中将掺杂剂沉积在外延层中。它有一个垂直的结构，使最高温度均匀性，以及一个集成的排气歧管，以减少污染。该单元包括一个可编程微处理器和一个主动联锁系统，以确保安全运行。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI配备了行业标准的特性，使得该单元成为半导体制造过程中高效外延层生产的理想选择。它具有可编程的温度/时间控制和新的优化算法，以实现最高的精度和准确性。机器的温度范围随着多区控制器的加入而扩大。该工具还提供了可调的工艺压力，以优化外延层的生长。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-MVCKNNRRTXI扩散炉具有自动前缀气体输送资产，自动增加保证金剂量以保持稳定的源气体浓度。它的自动清除模型在下一次运行之前清除不需要的气体，以确保高度可重复的结果。此外，实时气体监测分析设备可以监测多个气体，进行精确反馈和控制。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI通过提供直观的用户界面、流程数据反馈和调整功能,提供精确的流程监控和控制。全面的数据记录系统允许全面追踪和立即访问数据。批记录和集成功能提供了高效的数据管理和召回功能。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI被设计为兼容多种扩展卡和升级，允许个人定制和未来扩展。该单元还符合所有行业安全标准，并配备了内置泄漏检测传感器的可调过程控制机。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRTXI具有高效的设计、高的运行性能和安全特性,是半导体制造和外延层生产的可靠选择。
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