二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381827 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一种中产、垂直放置的带有附件的扩散炉。该炉可用于制造高纯度半导体材料。它用于半导体生产，特别是分层复合半导体。具有大容量晶片盒、高温操作、精确温压控制等特点。设备包括主室、多区控制器、排气系统和一系列配件。主室包括一个供热区、一个冷却区和一个观察港。加热区一次最多可容纳150个晶片，带有一个自动装载机单元，便于装卸。加热区还提供快速热氮退火，用于在半导体材料中产生结晶结构。冷却区有一系列冷却通道，用于晶片的均匀冷却。多区控制器可以精确调节各区的温度、压力和流量。它还允许用户控制炉子内的大气，包括工艺气体、腔室真空和灭火气体。此外,控制器还具有自定义过程控制的可编程配方。排气机安装在主室后部，并提供自动抽水循环，以便高效排空和更换空气。这样可以精确控制空腔中的大气压，有助于降低爆炸风险。此外，排气工具还配备了长寿命过滤器和洗涤器，以清除加工气体中的任何污染物。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI配件包括了一系列的石英器、热电偶、多阀设备和气体面板。石英器包括石英船、石英瓶、石英胶囊。热电偶用于温度测量，可以进行校准，以确保高精度。多阀设备由几个阀门组成，用于控制腔室内的大气。而燃气面板采用了一系列手动和自动化的阀门，用于精确的燃气输送和控制。总体而言，TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI扩散炉是高效、精确地制造高纯度半导体材料的强大精密资产。它是中小型半导体生产设施的绝佳选择。