二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381830 待售
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ID: 9381830
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Furnace, 12"
Process: HfSiOx
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Gas:
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
(2) Boat systems KAWASAKI
Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一种下一级扩散炉,旨在适应基板处理和加工技术的最新进步。它既提供了过程的可重复性,又提高了生产效率,从而提高了设备的性能.凭借其先进的技术,TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI能够处理多种材料,包括金属、陶瓷、半导体和复合材料。TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI配备了两个先进的炉子,均采用垂直和水平对流。垂直炉由多轴系统驱动,该系统利用独立驱动的输送辊和旋转执行器将晶圆移动到最佳扩散温度。水平炉将晶片从任一端吸入加热室,从而可以精确控制辐射和对流加热。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI炉标配了最先进的Peltier冷却系统。它具有先进的图像处理系统,可调节探针电流,使整个晶片的温度均匀。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI利用多点温度探针可以测量整个晶圆的极高精度,并且可以在最多4个独立的温度区内操作。该炉也可以编程为执行预置温度曲线的过程。此外,TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI还附带Active温度控制软件,使用户能够定义自己的加热和冷却曲线。该软件配有自学算法,不断提高数据的准确性和可重复性。该软件还支持熔炉的自动错误处理,使工程师能够快速调整或修复任何过程错误。TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI还配有一系列高级配件。这包括一个自动捕获托架,它允许简单的样品处理和自动化的过程配方,以便快速设置。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI还具有可编程的过程参数,如压力、温度和速度,以实现目标峰值性能。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是扩散炉的巅峰。它具有自动化控制和精密电子设备,提供可靠的性能和精确的测量,同时还易于设置和操作。凭借其全面的配件,它可用于应对广泛的项目,使其成为重视卓越效率和质量的制造商的一项值得投资。
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