二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 / Alpha 8S/8SE #293658183 待售

TEL IW-6/Alpha 8S/8SE是一种扩散炉及其外围部件。它主要用于电子工业中的半导体器件制造、光伏和光电子等应用。它旨在利用直流电或射频等离子体源在受控环境中沉积、退火、氧化或蚀刻基板。IW-6/Alpha 8S/8SE由主腔室、控制器、支撑设备、电源和腔室压力控制设备组成。主室采用不锈钢合金制成，设计可承受高温和气体流动压力。它具有易于使用的触摸屏控制器,可以方便地操作和设置压力、温度和气流等参数,以便于不同的应用。温度范围从室温到高达1,200 °C，可加工面积为177mm，最大基板尺寸为350 x 250 mm。该炉的另一个特点是结合了工艺大气调节和空气淋浴系统.这包括一组阀门，这些阀门在不同的处理阶段选择和控制主室中的大气。它还具有超高纯度的A源，用于清除惰性气体的腔室并保持清洁的工艺环境。此外,IW-6/Alpha 8S/8SE还配备了用于蚀刻和播种应用的射频等离子体源。腔室压力控制单元由自动仪表监控器和质量流量控制器组成，用于精确测量和控制主腔内的压力范围。此外，主室内部还安装了眼部标记机，确保基板在加工前位置正确。IW-6/Alpha 8S/8SE是电子行业各种应用的可靠高效工具。它具有一系列安全和过程控制功能,可确保达到最佳性能。此外,它还获得了CE的批准和TUV认证,让用户放心,他们的应用程序将不会出现任何问题。这个工具也是高度通用的，能够执行各种过程，如沉积、退火、氧化和蚀刻。它易于安装和使用,为用户提供了快速的周转时间,而无需等待复杂的工程安装。因此，TOKYO ELECTRON IW-6/Alpha 8S/8SE是寻求高性能扩散炉和外围元件的用户的绝佳选择。此工具提供了一系列功能和安全控制,使其成为各种电子行业应用的可靠而高效的工具。