二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9159178 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6是一种用于芯片加工和生产的扩散炉。该炉采用石英衬砌室和高精度温度控制设备。TEL IW-6用途广泛，因为它可用于氧化物应力去除、LDD（低介电扩散）、铜扩散、SiGe扩散等广泛应用。TOKYO ELECTRON IW-6具有很高的可靠性,并通过其卓越的温度控制系统保证了高可重复性.它具有两个独立的温度控制器,一个是用于温度设定点的可编程控制器,另一个是用于维持和调整实际温度的PRDN比例积分导数（PID）控制器。这使得控制器极具响应性和准确性。扩散炉内装石英衬里，盖子标配真空密封和不锈钢重量。IW-6使用低压（LP）技术形成可靠稳定的腔室压力。此外，低压技术不需要抽水装置，因为真空是由炉内气体反应形成的。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6因其低功耗、寿命长的机器而环保。设计采用高温防氧技术，防止炉火过热，延长炉火寿命。此外，它还采用了一种再生气体清除工具，可将净化气体的使用量减少多达30%。TEL IW-6支持各种外围组件,如质量流量控制器、阀门、热电偶和远程监控单元。它还配备了VCM（真空控制器模块）和PC接口单元，以增强灵活性和可靠性。总之，TOKYO ELECTRON IW-6是一种高精度扩散炉，配有石英衬里的腔室、坚固的温度控制资产以及其他各种部件。IW-6具有卓越的温度控制和长寿命模型，是芯片生产过程中可靠、安全的选择。