二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9226342 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6是一种扩散炉及附件，设计用于协助处理半导体晶圆。扩散炉采用二次区域设计，可改善热均匀性和低热梯度。它有一个附着有六个入口的气体面板，用于在扩散过程中控制气体的流动。该炉还具有温度控制换线器和可选的自动负载锁。该设备采用两个双元素加热器和一个低热梯度加热室，以达到均匀的温度分布。季加热系统设计为降低热梯度，配备1350 °C的最高温度。还配有冷却装置，必要时可快速冷却。扩散炉由基于MOSFET的坡道模块供电，并使用易于使用的操作员界面进行控制。该炉包括一台高精度的数据采集机，可用于测量扩散过程的进展。所采集的数据可供参考并用于持续改进。安全功能包括延迟供暖启动和自动安全关闭,以防止过热或温度过高。该工具具有现代化的控制资产,具有远程诊断功能。它还配备了在过程失败时激活的故障安全保护模型。TEL IW-6扩散炉是一种可靠、高性能的半导体扩散装置。它是许多半导体制造设施的首选工具。其温度控制、安全功能和数据采集能力使其成为处理电子元件的绝佳选择。