二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9226343 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6是为制造集成电路而设计的扩散炉及配件。它是半导体制造工艺中使用的一种先进工具，用于将材料沉积在硅晶片的裸露表面，产生均匀的涂层以增强电路特性。TEL IW-6是一种使用直接离子注入进行掺杂剂分布的扩散炉，一种将掺杂剂直接置于晶片表面而不是通过整个晶片扩散的离子注入形式。利用高温腔室为晶圆表面输送掺杂剂创造了理想的环境。TOKYO ELECTRON IW-6具有开放式配置，允许更均匀的掺杂，更好地控制单个掺杂剂的位置和深度。炉子配有长线烤箱、换热器、感应加热器等各种配件。长线烤箱加热炉子的外部，而热交换器在工作室内保持高温。感应加热器包含两个线圈，产生一个电磁场来加热烤箱内部。另外，炉子还装有多条气体管线，允许将不同的气体注入室内。IW-6具有高度精确的掺杂过程。它具有一个PID控制器，可以精确控制工作室内的温度，以及先进的计算机控制设备。该系统提供自动化和手动操作模式,使流程能够快速高效地进行优化。此外，该炉配有真空测量单元，用于监测室内压力，并确保获得最佳效果。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON IW-6是一种可靠且用途广泛的扩散炉和附件，非常适合集成电路的制造。它在温度控制严密的情况下产生高精度的掺杂剂分布，并得益于其先进的计算机控制机器，使其成为半导体工业的强大工具。