二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6C #9280805 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6C是一种最先进的扩散炉，用于金属膜沉积在基板上。本产品广泛应用，从表面改性到各行业的薄膜沉积。TEL IW-6C配有一个工艺室，其设计特别注重提供室内温度和气体流动的极好的均匀性。这使得它非常适合在基板上沉积均匀的金属膜。TOKYO ELECTRON IW 6C兼备低压化学气相沉积（LPCVD）和高压化学气相沉积（HPCVD）技术。这允许用户执行一系列进程，使其成为各种应用程序的理想选择。为了进一步提高薄膜沉积的均匀性，IW6C具有高精度的流量控制阀。该阀用于控制过程气体流动，以确保均匀的流量，这对于薄膜沉积是必不可少的。内装的流动阀也很有用，因为它能确保气体的准确浓度，并防止可能造成薄膜缺陷的杂质沉积。TEL/TOKYO ELECTRON IW 6C还有一个高效的机械泵，有助于提高吞吐量。这种泵能高效、快速地清除加工室内残留气体。这一过程保证了沉积过程的均匀发生，提高了原料的使用寿命。TOKYO ELECTRON IW-6C配有多个附件,可增强其性能和功能。这些附件包括自动加热器控制系统和保护用户免受直接辐射的自动安全快门。此外,IW-6C还包括一个高级软件包,该软件包便于完全参数控制,可用于自动数据记录和分析。TEL IW6C非常适合金属和其他材料薄膜在基板表面的可靠沉积。该产品非常适合广泛的应用，具有良好的温度、气流和薄膜沉积均匀性，非常适合各种工艺。