二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #195915 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D是一种先进的扩散炉及附件，专门为提供高精度等离子体增强化学气相沉积（PECVD）而设计。TEL IW-6D由专门的不锈钢真空室和强大的等离子体源组成，具有灵活配置的阴极和气体输送系统。TOKYO ELECTRON IW-6D具有直径2.6英寸、长12.5英寸的单晶石英管真空室。管腔由两个半圆柱形通风钛壳和两个法兰组成，每个法兰有四个用O形环密封的销钉。石英管导电，涂上纯铝，防止沿管壁电弧。此外，该管被双层铝块包围，并包含用于均匀热循环优化的嵌入式加热器。IW-6D装有一个标准的射频电源和一个手动可调节的模式，允许用户为所需的等离子体处理精确地定制设置。该装置在PECVD处理过程中提供了总计30千瓦的等离子体形成功率和三套18.6千瓦的PID温度控制。电源的其他特点包括TEL-GENLOW III电源板、支撑杆结构、闭合的火炬电极和有源氢警报设备。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D气体输送系统由一个4向气体歧管和五个气流控制器组成，使用户能够将广泛的气体放入等离子体处理中。歧管总容量300升/分钟，可精确控制0至300 sccm之间的流量。该单元支持四种陶瓷工艺气体的输送，用于等离子体增强沉积过程。此外,TEL IW-6D为支持的流程应用程序提供了与一系列高级附件集成的机会。高端选项包括专用气体冷却器、自动气体溷合机、低温冷却工具、原位分子反应物资产和自动清洗模型。用户还可以选择将TOKYO ELECTRON IW-6D配置为台式机遥控控制台，允许从安全距离进行控制。这种重型先进的精密扩散炉及其附件证明可靠、坚固、用户友好，是应用研究实验室的理想选择。IW-6D可直接控制单个单元中所有关键的等离子体处理参数,从而涵盖广泛的应用,包括CVD、PECVD、蚀刻、沉积等。加上定制TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D搭配一系列高级配件的选项，难怪这款产品备受追捧。