二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293587891 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D扩散炉是先进的半导体加工和器件制造的最先进的解决方桉。TEL IW-6D能够实现对加工区温度和热均匀性的精确控制。快速热身和冷却以及精确的温度控制等功能使这种设备极为可靠和通用。TOKYO ELECTRON IW-6D有一个氮密封工艺室，专门设计用于使该室快速均匀加热至1400 °C。优越的温度性能保证了对温度和NF扩散的精确控制，该炉还提供了快速的预热和冷却。采用两速加热等特性,IW-6D能够实现精确的温度分布.TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D能够容纳各种工艺配方，包括外延、扩散和热氧化。用户友好的GUI支持平稳的流程设置和操作。TEL IW-6D还配备了高质量的安全查看器和紧急开关，用于安全监控工序室。除了TOKYO ELECTRON IW-6D外，TEL还提供多种配件，用于各种材料的最佳加工。这些包括晶片、感光器和快门系统，以确保晶片冷却过程的均匀性。IWT扩散炉还带有有效的静电卡盘，便于在制造过程中均匀安装晶圆。作为一种先进的热处理解决方桉,IW-6D在保持可靠性的同时大大减小了设备尺寸。它的设计考虑到了最高的精确度和精确度,并提供了一个有效的解决方桉,以最小的占用空间实现所需的结果。它的特性、温度和配件使其成为任何制造工艺的理想选择。