二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798920 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D是为集成生产先进半导体器件而设计的扩散炉及相关配件。基本设备由扩散炉和控制器机柜组成，为广泛的先进生产需求提供了灵活性。扩散炉装有工件转移机器人，允许多个晶片并发转移和处理。它支持各种单步和多步工艺配方，从而能够在几个步骤中生产广泛的微电子器件。工件室包括一个热壁区域和一个冷壁区域，独立于工件温度，设计为在整个腔室提供清洁、均匀的温度分布，以获得最佳的工艺性能。该系统的智能机器人允许快速晶圆传输和全自动过程序列控制.TEL IW-6D配备了最新的计算机辅助控制单元，用于过程优化和统一。它包括预置程序的内存,以及各种传感器、警报、关机开关和故障安全机制,以实现高水平的操作安全性。此外，该炉还配备了气流溷合器、真空机和空气冷却工具，以确保气体在整个工艺室内的有效分布。TOKYO ELECTRON IW-6D的最高温度为2,000C，采用最新的金属构造技术制造。它是真空密封的，可以承受扩散过程中使用的高温。该资产还配备了高度可靠的水平单快门冷却模式，精确控制，并结合安全的氮气冲洗机构，在发生紧急情况时迅速关闭设备。扩散炉能够处理不同的工艺配方，适合广泛的扩散过程。易于使用的图形用户界面在设置过程参数方面具有极大的灵活性。控制系统还支持远程操作和数据记录功能,从而可以更好地控制流程并减少手动干预的需要。IW-6D是一个先进的扩散炉和附件单元，提供优越和精确的性能。是集成生产先进半导体器件的理想选择。