二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798922 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D是专门为高性能扩散过程而设计的扩散炉及配件。200 mm x 300 mm垂直加热器串有3个区域,可从顶部垂直调节,可同时对多达3个晶片进行统一的温度控制。整个熔炉的低热梯度能实现高质量的层层形成和低升华Cl速率，降低了TEL的热发射特性IW-6D确保晶片在该过程中的高通量。TOKYO ELECTRON IW-6D配备了常见的过程模拟功能，包括可调节背压、气体纯度、气体分布、气体流量和气体压力。气体分析系统与IW-6D相结合，为在线流程审查和调整以及收集后离线流程分析提供实时分析。它有一个可调节的气体入口旋流装置，用于均匀的气体分布，以及一个可调节的后压调节器，用于优化过程控制。此外，TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D的设计采用可调节的坡道速率，允许在设定点之间进行快速温度勘测，并通过冷却区控制低速率关闭，防止晶圆通过多余的热浸泡时间降解。它还通过使用多个H型加热器提供均匀的热梯度。所有这些功能都有助于实现TEL IW-6D的高质量和一流性能。TOKYO ELECTRON IW-6D还能够在其工艺室中再现各种设计规则，并提供关键工艺的完全再现性。它的自动化过程控制器提供了以半导体行业所需的技术和可重复方式重现各种设计规则的能力。此外，IW-6D还配备了集成的石英视口和晶圆对准门，用户可以检查对准和验证工艺条件。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D还通过以太网监控服务提供多种流程和工具监控功能,以实现用户站点的安全远程服务和控制。此支持包括诊断、本地指示器显示以及硬件和软件监控。最后,TEL IW-6D具有安全互锁和紧急关闭等安全功能。它的安全信息是可见的，并且可以在需要时顺利操作。总之，TOKYO ELECTRON IW-6D是一种扩散炉及配件，设计为提供高通量、高质量的层形成和可重复的高性能工艺。配备了优越的工艺彷真功能、可调坡度、低热梯度、气体分析系统、自动化工艺控制器、集成石英视口，以及各种安全特性，可靠一致运行。它是需要特殊层形成和最高可重复性的应用程序的理想工具。