二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798924 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D是TEL製造的扩散炉及配件。是一种高效、优质的半导体器件制造热处理和扩散工艺炉。其温度范围为200 °C至1400 °C，可用于退火、粘结、SiGe沉积和穿透。采用TEL IW-6D空心阴极炉，高效平稳准确地进行高温反应，使复杂的扩散过程系统能够无缝处理。TOKYO ELECTRON IW-6D可以处理种类繁多的材料，例如硅、的和其他的CVD材料，以及氧化物和氮化物，适合小到大的生产运行。它的设计具有很高的适应性，允许广泛的工艺参数和大气控制。此外，它还有各种各样的配件可用，如IW-6D背面压板，可用于精确控制不同表面处理的样品的加热和扩散。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D还具有多种增强安全性的功能,包括温度警报、锁定/紧急停止以及温度控制。它还有一个独特的气体净化系统来减少熔炉部件上的氧化物形成。它还配备了活跃的氮大气控制系统，确保在加工过程中保持所需的大气。TEL IW-6D是一种经济高效的半导体器件制造和晶圆烘烤解决方桉。它专为可靠性而设计,并提供多种功能,以提高安全性、准确性和效率。可用于各种应用，如退火、粘结、CVD沉积、晶圆烘烤等。它是处理困难和复杂过程系统的理想解决方桉。