二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #9148336 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D扩散炉是一种高效、精确的热处理装置，用于需要对硅片进行高精度扩散处理的应用。这种技术先进的扩散炉采用单级立式PECVD炉和独特的两级加热设计，以实现高效的低压工艺性能。它通过在扩散过程中不断调整温度曲线来操作，以减少不需要的蚀刻，并提供卓越的均匀性和生成速度。其设计精密的热力学和可调的加热器接近允许优秀的温度控制和均匀性。TEL IW-6D扩散炉配有先进的超高纯度门组件，设计考虑制造和关键任务的应用。这种有效的门系统可以装有一系列组件，如氧气喷射口、虚拟晶片和多个阀门，这些阀门带有防背衬，便于大量使用和快速的过程切换。TOKYO ELECTRON IW-6D扩散炉还配备了实时控制系统，使技术人员能够轻松快速地监控过程。该系统能够控制扩散炉的数据，并根据客户的要求整合各种预设配方。IW-6D扩散炉也具有极高的安全性和可靠性。它具有各种安全传感器，如火灾探测器和振动传感器，这两者都确保设备运行平稳。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D扩散炉也受到保护，免受任何可能干扰过程的内部或外部冲击或振动。此外，TEL IW-6D扩散炉可以处理批量生产应用以及小规模晶圆加工和表面处理。该炉能够处理直径从200毫米到5英寸长的晶圆尺寸。TOKYO ELECTRON IW-6D扩散炉也能容纳多种不同类型和大小的晶片，并借助该装置提供的可互换晶片支架。IW-6D扩散炉提供了一个高效、精确的扩散过程，产生了良好的效果。其先进的技术和安全特性使其成为各种工业应用的理想选择。这种扩散炉非常可靠、经济高效，是任何需要硅片高精度扩散处理的人的理想选择。