二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #9389914 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D是为半导体工艺技术而设计的最先进的扩散炉及配件。TEL IW-6D是一种使用热氧化工艺将掺杂剂扩散到晶片中的炉。这一过程提高了半导体器件的电性能，也增加了它们对高、超高规模集成的适用性。TOKYO ELECTRON IW-6D具有由智能PID控制器控制的同位素氢环境，允许优化过程控制和可重复性。该炉还配备了快速冷却技术，使得能够在短短几分钟内完成工艺。而且，IW-6D有模块化的设计，可以方便地针对不同的过程进行配置，例如CMP（Chemical Mechanical Planarization）。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D配备了几个关键配件，以确保扩散过程尽可能准确、安全地进行。提供了一个自动闸阀，用于在冷却或清洗过程中阻挡扩散室。该炉还配有一个用于将晶片安全地输送到腔室的石英熔炉和一个可用于维持腔室内部温度的陶瓷泵。该装置还配备了安全特性，如氮气净化装置，旨在保护长期过程不受污染。此外,TEL IW-6D还配备了一个集成的紧急关闭开关,以增加安全性,以及一个外部供水/排水连接,用于在扩散后冷却炉子。东京电子IW-6D是生产半导体器件所必需的器件.它的特点确保了准确和安全的扩散过程，其模块化设计为各种应用提供了必要的灵活性。该装置的不锈钢结构和耐用部件使其成为可靠高效的扩散炉。