二手 TEL / TOKYO ELECTRON M560A #293597892 待售

TEL/TOKYO ELECTRON M560A是一种先进的半导体器件制造扩散炉及配件。这种创新的设备专为高性能、最高效率和最高温度均匀性而设计，能够对复杂的结构如纳米线进行精确的测量。它由一个炉室和一组伴随的附件组成，如真空/冷却室、石英板、磁感器、晶圆架和压力传感器。炉房有两节。上部容纳加热元件、热电偶和一面镜子，提供自上而下的辐射加热，以增强温度均匀性。下部由气体入口、泵送单元和温度传感器组成。这使设备能够精确测量和维护独立的温度设置，以及在密封环境中提供额外的热控制。随附配件采用石英制成，保证了较高的耐热冲击性和长期稳定性。石英板作为放置样品的底座，而感受器则携带样品穿过加热区。晶圆座以其可调节的弹簧张力为晶圆提供了一个稳定的平台。压力传感器有助于系统保持均匀气体分布的最佳压力。TEL M560A采用综合加热机制，自上而下和自下而上的辐射加热相结合。有了这种优越的方法，设备可以在过程中提供前所未有的温度均匀性，只需要一个电源设置就可以维持所需的水平。扩散炉还配备了内置的空气冷却机，在完成时提供样品的快速冷却。在安全方面，TOKYO ELECTRON M560A遵循严格的指导方针，以确保尽可能高的安全和操作标准。该工具提供各种安全联锁，以防止温度过高，以及门控制，以防止意外操作。此外，创新的水冷资产可防止车型过热，为用户提供更多安全保障。总体而言，M560A是一种先进的扩散炉和辅助设备，为复杂的半导体器件制造任务提供卓越的温度均匀性和控制性。该系统提供了无与伦比的准确性和可靠性，具有先进的安全特性和优越的加热单元。此创新设备旨在提供最高性能水平,使制造商能够产生最高质量的结果。