二手 TEL / TOKYO ELECTRON SD-910-3YN #9131946 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SD-910-3YN是一种先进的扩散炉及配件，设计用于高性能半导体生产应用。适用于多种生产工艺，包括但不限于：扩散、氧化、退火、蒸发等。TEL SD-910-3YN采用坚固耐用的不锈钢腔室,耐用且易于维护。它还配备了先进的过程控制设备，具有自动温度控制功能，可实现精确和可重复的加热和冷却温度。该系统还设有一个大气控制泵，可以检测和相应调整气体流量，以保持可靠的气体控制和目标样品的均匀加热和冷却。TOKYO ELECTRON SD-910-3YN采用防污染设计，有助于最大限度地减少操作过程中产生的粒子。这是通过使用加热的合金气体注入室和水冷空气/气体洗涤单元来实现的。集成的防撞喷嘴可确保腔室内的热均匀性,消除热点或冷却不规则性,这对于退火等困难的过程反应尤为重要。SD-910-3YN还配备了强大的电动机驱动器，在蚀刻和其他溅射过程中精确控制层厚度。这是通过利用闭环控制机通过控制沉积/蚀刻速率来微调层厚度来实现的。它还配备了先进的电气安全工具，可监控地面电压并相应控制功率输出，以确保安全运行。TEL/TOKYO ELECTRON SD-910-3YN还设计了用户友好界面，方便操作维护。定制的体系结构和自动配方加载选项使该扩散炉成为半导体行业生产过程中的宝贵工具。TEL SD-910-3YN是一种用途广泛且可靠的扩散炉和附件,它将有助于简化制造过程,帮助提高整个过程的效率和可靠性。其先进的特性和稳健的设计使其成为高性能半导体生产的宝贵工具。