二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA 1-H #9206524 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA 1-H扩散炉是最新的串联晶圆加工技术。这种单晶片，垂直加载扩散炉提供了高精度的均匀性和可重复性。其恒流电炉加热气体设备为优质晶圆处理提供了可靠的结果，并对大气和温度进行了超细控制。TEL TELFORFORMULA 1-H可以达到高达1000 °C的温度，并具有自动压力控制（APC）系统，以及高对比度温度指示计（HTI）以确保精度和准确性。其内置喷嘴设计采用简化的气体输送路径，提供均匀的气流和快速的气体净化能力。TOKYO ELECTRON TELFORFORMULA 1-H的低均匀性工作负载支持结构特别为高效晶圆处理而设计。此外，其低压、高精度的晶圆工艺序列控制简化了工艺优化。这大大降低了晶圆处理的成本。TELFORFORMULA 1-H还具有智能过程同步控制、温度均匀性识别单元和自动晶片装卸机。这使得其生产率远远优于传统的扩散炉。此外，它还配备了现代化的用户友好界面，可以执行大量配方步骤，使其非常适合复杂的晶圆工艺。为确保安全,TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA 1-H配备了紧急关闭开关、净化气体气流监测器和红外高温计,可实时测量炉膛气氛。总体而言，TEL TELFORMULA 1-H扩散炉具有先进的特点、精确度和可重复性，是高端晶圆加工的理想选择。其可靠的技术确保了一致的结果，其智能用户界面允许简化和优化晶圆过程。