二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA Nitride #9253033 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA NITRIDE是一种扩散炉及配件，旨在满足电子器件制造的需求。氮化物炉是一种特殊的等离子体辅助化学气相沉积（PECVD）工具，用于沉积氮化物材料。它能够一次处理三个晶片，并且可以达到高达1050 °C的温度。炉子装有HL-UT加工室，可以调整以允许垂直或水平加工。它还装有上下部供气通道，使炉子可用于标准和高温氧化过程。氮化物炉配有智能逻辑系统，能够在检测到错误时自动进行自我监控、检测故障和关闭。它还为用户提供了4步操作模式，允许他们根据应用程序的要求从三种预编程沉积模式中选择一种。氮化物炉装有RS-232串行接口，使其可以连接到兼容的计算机系统，用于监测和控制工艺参数。它还能够存储多达24种具有可调功能的配方，允许为不同的流程设置不同的流程参数。氮化物炉装有强大的石英灯，每脉冲最多可提供1200mJ个，并由屏蔽片保护。该灯适用于各种沉积过程，如化学气相沉积和溅射。它也被设计为持续多年，保证寿命为2万小时。氮化物炉的设计目的是提供高水平的安全，同时提供气体探测器和断开开关，以确保操作员的安全。此外，还有一个紧急停止按钮，用于快速、安全地关闭炉子。氮化物还有一个冷却系统，可以快速降低腔室温度，使其打开，加工后的晶圆取出。总体而言，TEL TELFORMULA氮化物是一种强大可靠的扩散炉，是制造电子设备的理想选择。它易于操作，对工艺参数提供灵活的控制，设计用于安全可靠的操作。