二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M #293595800 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M是TEL设计制造的扩散炉及配件。该扩散炉设计用于薄膜沉积、掺杂和驱动过程的生产，是先进研发和工业薄膜过程的终极工具。TEL TELINDY Plus-I-M扩散炉使用感应耦合型技术，产生高达令人印象深刻的950°C的均匀温度。该扩散炉还设有石英玻璃加热室，以确保在高温下工作时的最大安全。以600 Torr的最大压力，TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M扩散炉可以处理任何扩散驱动的应用。该扩散炉还配备了自动控制装置，可以安全高效地对每个工艺进行准确和预测的控制。TELINDY Plus-I-M还包括多种配件，包括气体控制设备、气相反应物供应系统、温度测量单元和真空逆变器，进一步有助于营造稳定的加工环境。为了保证操作员在操作过程中的安全，TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-I-M配备了外部超温和接地故障互锁机，有助于消除温度或电气异常的意外上升。它还具有多陷阱设计,可提供冷热陷阱,以提高收集效率并提高安全性。TEL TELINDY Plus-I-M扩散炉的设计是为了满足精细特征的精确控制和温度均匀性的最高生产要求。该扩散炉制热制冷精密，加工时间短，安全性能优越，是先进工业薄膜工艺工作人员的理想选择。