二手 TEL / TOKYO ELECTRON UHO-2505 #9112862 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UHO-2505是为专门的薄膜沉积应用而设计的扩散炉。它是一个垂直炉，顶部到底部可打开盖子，最高温度范围高达1100摄氏度。它配有一个长方形的内部石英敏感器，确保室内甚至加热，并防止外界的污染。炉子配有高性能控制器，允许用户对温度概况、每一步的持续时间、坡道速率等变量进行编程。它还支持手动和自动操作，使其适合各种实验室应用。该系统还配备了两个独立的PID控制器，用于精确的温度控制和持续的压力和温度测量。TEL UHO-2505的内部由石墨感知器托盘、加热元件和处理气体的设备组成。加热元件的设计是为了确保炉膛内温度均匀，同时保持低热梯度。石墨敏感器托盘可实现均匀的温度分布和高效的晶圆处理。TOKYO ELECTRON UHO-2505的附件包括用于高效排气的排气风扇和文丘里管以及用于控制等离子体密度的射频阻抗匹配网络。用户还可以在排气管线内安装比例阀，自动控制炉内压力。UHO-2505是一种可靠和耐用的扩散炉，适合各种实验室应用。由于其紧凑的设计，熔炉可以安装在不同的位置，并且易于运输。高性能控制器和温度控制的准确性保证了炉子能够产生高质量的效果。其坚固的结构和配件使其成为扩散炉应用的理想选择。