二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226256 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS
ID: 9226256
晶圆大小: 6"
优质的: 1988
Diffusion furnace, 6" 1988 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS是一种扩散炉及相关配件,旨在为理想的扩散操作提供最佳条件。该设备由一系列组件组成,这些组件可以高精度地对烤箱进行调理,从而为所需的扩散结果创造完美的环境。TEL UL-2604-08-HS包含一个主单元和一个加热室、一个冷却室以及一个匹配的供气单元。这三个组成部分协同工作,为扩散操作创造了最佳条件。加热室提供安全可靠的性能,同时提供100至1100 °C的温度范围。它由钼热线组成,可精确控制温度,保持室内温度分布均匀。冷却室提供从-40到100°C的大范围温度,并配有垂直式热井,以协助室内的温度管理。供气单元对来自加热室的加热空气有一个匹配的连接,允许它与扩散操作所需的各种气体结合使用。该系统配备了先进的多功能控制单元,用于管理扩散操作的不同方面。采用PID自动调谐技术,设计了温度控制机来精确、快速地控制温度。压力调节工具确保供应压力保持一致,大气控制资产设计用于监测和调节工艺室内的氧气水平,以确保扩散操作的最佳条件。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS还提供了真空排气和冷却塔供气等多种其他功能。它还允许同时使用多达三种气体,进一步增强用户体验。安全功能检查压力和温度以确保安全,在不符合这些条件的情况下自动停止运行。UL-2604-08-HS是完美扩散操作的一个优秀的一体模型。它提供了广泛的温度、精确的控制机制和多功能的控制设备。该系统小巧、可靠,专为高性能扩散操作而设计。
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