二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226258 待售

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS提供无与伦比的扩散炉及辅助性能.该模型专为先进的半导体应用而设计，是各种超低温工艺的理想选择。它是一个单热区设备，配备4英寸，25位的盒式磁带机头和8英寸的石英加热器。热区是为控制和管理温度和均匀性而设计的。此外，该系统还利用自动石英管流量控制对工艺进行优化。炉的整体尺寸为1200毫米（高度）和1900毫米（长度）。TEL UL-2604-08-HS具有较宽的温度范围（最高1,400 °C）和± 2.0 °C的低温均匀性（以1𝛅表示）。温度控制通过5.7英寸彩色显示屏的可编程逻辑控制器（PLC）进行。其他功能包括使用热通量计算的过程控制、通过集成分析仪进行的现场O2控制以及连接到计算机网络的通信功能。该装置配备先进的设计特点，保证温度均匀性和工艺可重复性。加热器中的高精度电阻螺旋热包装盒具有极好的温度均匀性。集成的加热器风扇有助于优化半导体晶片的温度分布。自动空气挡板连接到加热器提供额外的温度均匀性和一致的过程分布。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS机还提供先进的安全功能来保护用户和过程。使用高温限位开关监测加热室的温度。它可以检测到加热器下游的任何温度波动,如果检测到危险的工作温度,它将自动关闭工具。自动室门锁可确保室在过程中安全。UL-2604-08-HS有一个集成的自动门解锁资产。此模型可通过PLC设备或外部控制手动触发。具有加热器、石英管、加热器风扇和温度控制的单一集成封装提供了高效可靠的扩散炉及附件系统。