二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226230 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS是一种扩散炉及配件，设计用于硅片变薄、外延沉积、晶体管制造等高通量晶圆制造工艺。它有一个大直径、底部装填的cruceble、坚固的晶体溷合室和低真空端口。熔炉底部装填的熔炉直径比传统熔炉大，保证了温度分布均匀，大晶圆的通量更高、更快。Crucible的石英玻璃壁也消除了晶圆对晶圆的污染和缺陷的形成。TEL UL-2604-08-LS配有先进的晶体溷合室，在大气和亚硝基盐酸沉积反应中产生出色的硅外延沉积溷合工艺。这确保了沉积的硅表层和附近器件的最佳质量。在晶圆处理过程中，采用低真空端口和严密结构进一步增强了熔炉，以确保最小的污染。该端口还支持气体压力调节,以控制设备的电感绝缘,温度可调节。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS还包括一个远程访问伺服控制器，允许用户在监控和管理生产过程的同时从任何PC远程操作炉子。此外,多通道接触式热电偶可确保均匀的温度感测,具有高度稳定的温度精度、快速的响应和低功耗。UL-2604-08-LS是一种高度先进的扩散炉和配件，为晶圆制造工艺提供了优化的生产率。它的大直径底载式熔炉、晶体溷合室、低真空端口和远程接入都有助于确保高吞吐量和优异的设备质量。凭借其先进的功能，TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS一定能满足任何设备制造工艺的需求。