二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226252 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS是一种具有多种自动化、安全性和过程控制特性的扩散炉和控制器部件。是适用于扩散、氧化、掺杂、植入和退火等不同过程的多功能高效设备。TEL UL-2604-08-LS采用模块化设计,可轻松安装、配置和操作。它由控制单元和扩散炉两个设备组成。控制单元包括数据输入、控制面板、用户友好的过程控制器以及各种状态监控和保护功能。它还具有触摸敏感面板和图形用户界面，便于操作。自动扩散炉允许通过微处理器控制器操作和控制过程。它有一个多区供热系统，由位于主区和外围区的八个供热元件组成。这些区域彼此安全隔离,可以独立控制过程。该炉还具有安装在主室顶部的扩散炉，可同时运行氧化、掺杂、植入和退火等多种工艺。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS具有多种自动安全和过程控制功能,包括用于安全系统开启的关键开关互锁、紧急停止按钮以及用于准确监控过程的温度和压力传感器。该扩散炉还配备了一个数据记录仪，用于捕获可用于后处理和分析的过程数据。此外，熔炉和控制部件的设计是为了最大程度地提高操作安全性，包括双重安全程序、控制电源监测和每个区域的单独导线接线。它还有一个不锈钢容器,用于进给通路的水平通道.总体而言，UL-2604-08-LS是一个可靠和用户友好的扩散炉和控制器组件，适用于复杂的过程，可以很容易地配置和操作。它具有众多增强的安全和控制功能,是满足您生产需求的理想选择。