二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08 #293591385 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08是由TEL Limited设计制造的精密扩散炉。它由三层组成，用于各种沉积过程：垂直加热、水平加热和垂直冷却。垂直加热层设有气体分发器、辐射加热器和三级、可移动的射频窗。水平加热层装有多个对流加热器，垂直冷却层装有循环风扇和散热器。该扩散炉的最高温度为1,850 °C，最长运行时间为90分钟。此外,它还配备了三个3000V电源,以确保精确、稳定的运行。电源的控制是通过在Windows 7 OS上运行的集成计算机设备进行的。此操作系统允许各种设置,包括温度控制、预热区控制、沉积区控制和冷区控制。TEL UL 2604-08可用于Poly-Si、Mo-Si2和Ni-Silicid等各种沉积过程和材料。此外，它还可用于定向沉积和线性沉积。设计节能，功耗低，噪声水平低。它还有一个自动停止装置,它将在进程结束时自动停止操作。该设备还包括一个自动起重机/除重机功能和三个气闸，以便快速装卸工件。TOKYO ELECTRON UL 2604-08还配备了A型快门，以帮助保持低底物浓度，允许晶圆纹理更大的均匀性。最后，它配备了升级的远程访问机和警报灯，从而增加了安全裕度。UL 2604-08采用单袍紧凑设计，是各种工业应用的理想扩散炉。TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08具有集成的自动控制系统和其他各种特性，是TOKYO ELECTRON的可靠、坚固且具成本效益的扩散炉。