二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08H #9155404 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H是为满足半导体器件制造的高热要求而设计的扩散炉及配件。这种设备由一个高性能、坚固的石英体组成，可以均匀加热。坚固的石英体利用原位和异位加热方法以及扩散原理在整个加工环境中均匀散热。TEL UL 2604-08H是掺杂扩散过程的理想选择.它具有高温加热的精确线性控制、可靠性、宽广的温度范围和低温能力等特点。此外,该系统还提供灵活的外围设备控制选项和出色的绝缘性能。TOKYO ELECTRON UL 2604-08H单元具有水平主滤区的多区结构。主区分为四个单独的温度控制区。该炉采用高效、闭环、超低压热墙内部设计，确保所有四个温度区的热分布均匀。它配备了三个冷却风扇，以提高冷却效率，并增加一个CO2挡板来控制气流。此外，UL 2604-08H有一个自动气体控制机器，能够使用各种气体，最大流量为600 SLM。该工具还提供各种可选功能,如远程控制和监控、用于性能监控的电子捕获检测器（ECD）、可编程PID控制器和防污染过滤器。该资产配备了先进的安全功能，如紧急关机机制和安全联锁模式。此外,还安装了排气口以保持环境条件并减少工艺停机时间。TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H是为满足半导体器件制造的严格要求而设计的先进扩散炉及配件。它提供高效、低压的热墙内部和高效的冷却风扇,以实现均匀的温度分布。此设备高度可定制,并提供多种可选功能,以提高安全性和可靠性。TEL UL 2604-08H是现代半导体器件制造商的理想选择。