二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08L #293586739 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L是专为半导体工业而设计的高性能热扩散炉。扩散炉采用高功率气体进料管和静电原理，将保护材料层和合金层沉积到半导体材料表面。高精度、节能可靠，是半导体生产的首选。炉子的供气管由两个热阻表面组成。第一种将高功率等离子体引导到基板上以沉积保护层。第二个表面较小且精确，保证了均匀的扩散面积。均匀的区域可确保保护材料层在整个基板上一致有效地扩散。TEL UL 2604-08L有两个可选组件：双自动转移臂和配备多热传感器的除尘器。自动转移臂用于在扩散和温度控制的多个阶段之间运输晶圆基板。同时，热传感器在多个点监测炉温，并向控制器提供反馈。除尘器允许清除交换室内可能存在的空气中的灰尘和颗粒物，保持工作区的清洁和安全。TOKYO ELECTRON UL 2604-08L还具有用户友好的触摸屏控件，可让操作员根据正在处理的材料定制自己的配置文件。配置文件存储在硬盘上,可以轻松调整,以便在处理各种基板时快速轻松地进行调整。从安全角度看，UL 2604-08L包括快门报警器、第三人称警卫和访问控制系统。只要打开炉门,就会触发快门报警器,如果关闭不正确,则会停止操作。第三人称警卫和出入控制系统分别防止未经授权的人员进入炉膛或进行未经授权的行动。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L是为满足半导体生产行业的需求而建造的精密、高精度和可靠的扩散炉。其高功率、节能的供气管和双自动转移臂，结合用户友好的触摸屏控制和多种安全导向功能，使其成为半导体生产的绝佳选择。