二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H #9148349 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H是为开发集成电路材料和组件而设计的扩散炉及附件封装。适用于多种薄膜沉积材料，包括金属、氧化物、氮化物。这个全面的软件包包括一个大型机、一个风冷大型机、一个燃气柜以及各种工艺组件,如气泡、温度控制器以及薄膜处理所必需的一些附加组件。大型机是为高性能薄膜处理而创建的,它提供了工作模拟的灵活性和处理复杂过程所需的专业水平。其设计方便用户，既可实现高速运行，又易于维护。其高速加热冷却系统采用红外陶瓷加热元件，可以非常精确地控制温度范围。风冷主机装有温度控制器，使温度可达到400 °C；以及Vycor窗口隔离器,它允许在高温过程中不受阻碍地查看工艺室。煤气柜提供了一个适合连接初级工艺部件的环境，同时保持安全、受控的气氛；包括质量流控制器、压力传感器和泄漏检测器。此外，包装还包含底物装卸所需的部件；例如机械真空泵、气阀和动力基座。包装包括各种各样的周边组件和配件；如气泡舱、石英容器、温度传感器、法兰、N2净化袋、粘合链、铝绝缘等。另外，特殊胶片，包括金刚石胶片、金膜和钛膜，可以生长在各种基质上。TEL UL 2604-10H软件包是一个一站式解决方桉,可满足创新的薄膜沉积需求,为用户提供灵活和专业的处理复杂过程的信心。该软件包独特的设计和高级功能使其成为在各种应用程序中实现高质量结果的宝贵工具。