二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H #9350447 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H是为Epi、离子植入、氧化、升华和热机械过程等复杂过程而设计的高性能扩散炉及配件。该单元具有10英寸和16英寸两种尺寸的多功能垂直或水平设计。10英寸模型最适合短时间过程,如热处理或快速氧化,而16英寸模型更适合大规模的过程。TEL UL 2604-10H是为了即使在高温下也能保持严密控制的气氛，以及精确的温度控制和均匀的加热。它采用了先进的材料和部件，实现了可靠、高精度、长期稳定的性能，内置了效率最大化的热反射和排气设备。在UL 2604的中心是一个TEL测温系统，提供精确的温度控制高达1600°C。TOKYO ELECTRON PYRAMETRY单元包含了自动测量热处理物体的热特性、均匀加热速率的均匀加热算法、可调加热时间等多项特性。为了安全起见，TOKYO ELECTRON UL 2604-10H有一个厚壁石英外壳，设计用来承受高温和气压，并尽量减少辐射泄漏。此外，还使用一个装有多种化学物质的高纯度陶瓷管填充腔室，提供惰性气氛。UL 2604-10H配备了方便先进的功能。它有一个用于高温过程的长过程窗口，一个可用于精确调节大气的气体控制，一个用于紧急关机的关机，以及一个在整个腔室内部保持清洁、均匀温度的耐腐蚀真空工具。除了这些特性外，TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H还包括多个附件，如热电偶、气体阀和保护罩。它还配有多种可选配件，包括一套额外的加热元件、一个粒子过滤器和一个旋转驱动机构。TEL UL 2604-10H是需要高性能扩散炉和附件的用户的绝佳选择。凭借先进的温度控制、均匀的加热、安全的特点、便捷的配件，是市场上最好的产品之一。