二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL #293595280 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL是为先进半导体器件制造、MEMS （Micro-Electro-Mechanical Systems）器件制造、通用先进材料加工等应用而设计的扩散炉及附件包。TEL UL 2604-10HL为高级精密温度处理提供了无与伦比的热均匀性和控制性能。TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL的基本构型包括单晶圆工艺室、工艺-气体控制设备、可调高密度磁化器支撑组件。单晶片工艺室由石墨和相容铝合金构成，具有较高的温度均匀性。它设有一个用于装卸样品的装卸门，以及一个可达到2600 °C温度的综合加工室加热器。工艺-气体控制系统可实现精确的温度调节和大气控制，确保清洁可靠的工艺条件。可调的高密度磁感器支撑组件提供精确、可重复的样品加载和定位。UL 2604-10HL还带有几个附件组件。它包括一个高精度的热电偶、一个石英气体入口歧管和一个石英工艺淋浴头。高精度热电偶设计为提供精确的温度测量，而石英气体入口歧管则可实现精确的气流控制并确保清洁操作。石英工艺淋浴台是为工艺均匀性而设计的，能够对样品进行精确的热控制。TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL具有直观的用户友好界面,包括多个安全功能,包括紧急停止按钮和过温保护单元。该炉还包括一台数据记录机，该机存储流程参数，并使用户能够从早期运行中轻松检查流程条件。所有这些特性使得TEL UL 2604-10HL先进半导体和MEMS器件制造和一般先进材料加工的理想工具。