二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9068938 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080是一种高端扩散炉及相关配件。其主要特点是整个燃烧室具有较大的均匀温度剖面，允许在加工过程中对基板温度进行精确的温度控制。温度范围为0°至1000 °C，温度剖面的均匀性为+/-1 °C。对流风扇具有很强的正压，允许热量在整个腔室均匀分布。风扇可以在两个方向上进行调节,从而实现流量和温度均匀的扩散过程。扩散炉还装有惰性气体注入系统，使惰性气体均匀循环，有助于保持底物浓度的均匀性。扩散室用加热器板封闭并保护内部，以便有效地分配热量。温度控制系统设计效率高，可调，以适应广泛的应用。可编程控制器功能为设置处理运行提供了方便和灵活性。TEL UX-1080扩散炉还具有强大的软件包,可用于计算机监控处理。图形用户界面使得各种变量的控制和监控变得容易。可以设置一系列功能，包括能够直接调节烧制温度、设置坡道速率、停留时间和基板温度。最后，TOKYO ELECTRON UX-1080扩散炉附有多种辅助元件。其中包括光谱发射监测器和自动消声器，以便于进入腔室和基板。该炉还与其他一些配件兼容，如气体和液体流量计。它们旨在提供高质量的结果。总之,UX-1080扩散炉及其附件是生产线加工系统的顶端.其宽广的温度范围和整个腔室温度分布的均匀性使其适合多种扩散过程。用户友好的软件包和外围组件使其成为任何研究和生产环境的绝佳选择。