二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9269424 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080
ID: 9269424
晶圆大小: 4"-6"
Diffusion furnaces, 4"-6".
TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080是专门为制造晶体管、集成电路等专用电子元件而设计的高品质扩散炉。它采用热技术的组合,特别是快速热退火(RTA),以实现高质量的弥散结,并具有各种各样的特点,使其对于那些需要高端半导体制造设备的人是可取的。炉子本身是用钢制外壳建造的。它具有一个大的石英加热管,内部将热能传递到内部部件,确保所有部件均匀加热。管内温度由高温计监测。为确保零件处理的安全和稳定环境,炉子设有若干安全报警器和紧急停止开关,并由综合控制系统进行监控。TEL UX-1080常与金属前扩散(PMD)或蒸气相外延(VPE)处理结合使用,形成复合结。这是由于设备提供了更高的热功率,从而允许更快的处理时间。此外,还可以通过载气将杂质或同位素引入结合处,从而产生电性能得到改善的组分。TOKYO ELECTRON UX-1080的设计确保了该过程是可重复和一致的,即使在长时间处理大批量零件时也是如此。将炉温控制到+/-0.5°C的能力,加上载荷锁室、样品架和石英管保护器等广泛的附件,意味着它适用于种类繁多的不同电子工艺。总体而言,UX-1080是一个强大的扩散炉,能够为各种不同的电子应用生产高精度元件,是半导体制造设施的宝贵资产。以其高品质的结构,各种安全特性和广泛的配件,以效率和可靠性着称。
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