二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9276695 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080是一种扩散炉及其附件，用于磷和砷等掺杂剂的均匀扩散，以制备用于半导体等器件的高速器件结构。它是为优越的基板均匀性和高通量而设计的，因为该炉能够同时沉积多达30组200毫米晶圆。它还提供了良好的工艺均匀性，从开始到结束的炉。TEL UX-1080设有水平定位的加长船转炉。它采用气动加速机构设计，能够使船快速加速减速，减少转移晶圆所需的时间。此外，顶部表面室提供加热对流与均匀，高速水平运动，允许均匀加热整个过程。东京电子UX-1080的扩散过程包括预热、反应和冷却三个阶段。预热级采用可编程加热滚筒，确保晶圆表面温度均匀，通量高。反应级设有感应加热系统，实现晶圆温度快速升高，温度均匀性优良，积极影响扩散均匀性。在冷却阶段，一个新开发的"快速冷却系统"提供了极好的冷却均匀性，尽管由于熔炉中的热梯度最小化，吞吐量很高。此外，UX-1080适用于各种应用，如扩散键合、栅极氧化、硅化物和选择性氧化技术。它还配备了冷却系统，使晶片的退火后无需单独的冷却室。当高速半导体器件需要快速热稳定时,此功能特别有用。TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080扩散炉是生产小型高频半导体产品的理想选择。其稳健的设计、统一的工艺控制、低散热、高速运行，使其成为大规模生产的诱人选择，提供卓越的质量控制和可重复的效果。