二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP #9148199 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP是为半导体器件制造而设计的扩散炉和相关附件套件。TEL UX-1190-4TP是一种立式管式炉，具有专利旋转晶圆平台，允许长时间均匀加热。此功能旨在缩短加工时间并提高与制造高质量半导体器件相关的效率。TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP由一个30kW电源提供动力，包括一个多区炉壳，内衬厚厚的绝缘材料，在生产过程中均匀统一的温度控制。先进的可编程逻辑控制器设备允许精确的操作和温度控制,以确保产品质量可靠。UX-1190-4TP具有高达1200摄氏度的温度范围，足以满足大多数半导体器件制造工艺的需要。该炉设计为与各种配件结合使用，包括用于提高工艺稳定性的背面冷却系统、晶圆位置传感器以及用于优越产品质量和安全的大气监测系统。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP的设计与标准的环境控制系统兼容，使其能够连接到其他熔炉部件，以便在高温环境中平稳运行。TEL UX-1190-4TP的设计考虑了耐用性和维护。坚固的结构保证了长期耐用，因为它的重型结构和先进的绝缘材料。该炉还包括一个维护系统，使操作员能够方便地监测各种关键部件和系统，以获得最佳性能。内置维护单元将对出现的任何问题发出警报,使操作员有机会在对设备或任何相关部件造成潜在损坏之前捕获和修复任何故障。总体而言，TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP是一款高端扩散炉及相关配件套件，旨在生产加工时间减少的优质产品。UX-1190-4TP拥有多区域供暖制冷选项、先进的环境控制、精细的维修机器，是制造半导体等高端器件的理想工具。