二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #293819010 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是一种先进的扩散炉及配件设备,具有高性能,是许多制造应用的理想选择。它具有标准的陶瓷敏感板，并具有高温评级，使其适合半导体行业的通用热工艺。该炉的最高温度可达1150 °C，确保在氢气或氮气环境下具有可靠和可重复的性能。TEL UX-11P10-4HT具有坚固的结构和一系列功能,可确保可靠的运行和长期一致的性能。它有一个分区供暖系统，有4个独立可控的供暖区，可以在更短的时间内实现高温。该炉还设有冷却装置，可快速冷却腔室和感应板，以便在达到所需温度后立即进行进一步处理。它有一个1000 W/cm2辐射红外CVD加热元件，允许一个一致的加热过程和高水平的过程控制。炉子的温度均匀度± 3°C,超过100-280mm直径的晶圆,允许在一系列基材上进行均匀的热处理。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT还包括一系列工艺选项,以确保预定产品的最佳性能。它有多种流量控制选项，用于在反应室内施用气体，包括质量流量控制器、MFC和IFAC夹具，以确保整个过程的浓度准确。该炉还能够在低压环境中运行，低压选项可使用高达0.1毫巴。该机还具有射频电源，使诸如等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）等工艺能够在炉子环境中进行。炉子配有集成控制器，使用户能够精确控制温度和监测趋势，以确保整个过程的最高性能水平。由于其坚固的结构和可靠的性能,UX-11P10-4HT是各种制造工艺的理想选择。它具有广泛的工艺选择、集成控制器和高温等级,是满足任何生产需求的绝佳选择。