二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198280 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是一种扩散炉及附件，设计用于高通量半导体晶圆工艺操作。适用于生产和研究应用，从散装硅氧化到高性能材料加工。TEL UX-11P10-4HT是一种单晶片水平扩散炉，可同时处理多达四个直径8英寸的晶片或两个12英寸的晶片。设备采用模块化设计，主要部件为晶圆座、加热器、气体分配系统、电源、排气单元和反应性气体控制单元。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT的晶圆支架具有磁感器、陶瓷介电加热器和动力提升机构。感光器加热器有一个AlTiC涂层来改善热均匀性，这使得在扩散过程中整个晶片表面的温度均匀性得以提高。动力提升机构允许在垂直Z轴方向上微调加热器和磁感器。UX-11P10-4HT的气体分配机由气体面板、流量计和气体管线组成，用于引入晶圆加工过程中所需的气体。该工具的电源由交流发电机和直流电源组成，它们为炉子的加热阶段提供所需的电力。TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT的排气资产被设计用来抽取晶圆加工过程中产生的气体，并提供高的排气效率。模型的气体控制单元包含必要的组件，以便在适当的时刻注入所需数量的气体，以达到工艺要求。总之，TEL UX-11P10-4HT是一种高通量扩散炉，设计用于处理半导体过程操作，具有令人印象深刻的控制和效率水平。其组件的模块化设计使得它容易融入现有的工艺流程，其敏感器加热器和气体控制单元允许精确的温度和气体管理。得益于这些特点，TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT已成为半导体行业生产和研究应用的可靠且经济实惠的选择。