二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198282 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是为内存制造应用而设计的先进扩散炉及附件。它具有一个纤薄的腔室和先进的温度控制精确和可重复的处理。扩散炉配有内置的宽范围温度传感器，确保对高达1100 °C的工艺温度进行精确控制。其用户友好的多点触控液晶面板使设置和控制多达四个不同的加热/冷却区域成为一种微风。TEL UX-11P10-4HT还提供了广泛的管材选择，允许用户根据自己的具体应用量身定制设备。炉子的可选配件包括一个4向气体流量计，控制单一工艺气体的流动，以及一个晶片加热器，以提高均匀性。如果需要,可以在系统中添加一个额外的现成自动流量控制器,以进一步控制多个工艺气体。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT有一个可选的旋转机构，它允许炉底通过一定角度的范围旋转，使得它非常适合分裂晶圆。该腔室还设有一个可移动的石墨敏感器，完全可以加工到所需的轮廓。这增加了配方的灵活性，减少了晶圆旋转过程中的边缘效应峰值。UX-11P10-4HT非常可靠，易于使用。其监控系统可以在流程中断发生前检测到，在异常情况下自动关闭所有电源。该系统在清洁、可靠220V单相电源上运行,设计最大电流为12A。TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT为cULus、CE、SGS批准，符合欧洲最高安全标准。为了防止腐蚀和室内腐蚀，该系统采用了氧化膜涂层。这些特点使得这种扩散炉和附件包装成为内存制造应用的理想选择。