二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198284 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是半导体工业中使用的扩散炉及配套配件。用于允许植入气体扩散到硅片中。TEL UX-11P10-4HT是一种扩散炉，设计有单晶片载荷锁室，允许快速进入，并能够在一个循环中处理多个晶片。外部尺寸为1130mm （W） x 980mm （D） x 1985mm （H），标准最高工艺温度为1100 °C （2000 °F）。该炉采用先进的POCVD（等离子体增强型化学气相沉积）技术进行最佳温度控制和相对较低的热阻。随附的软件非常先进，能够精确控制扩散过程参数。操作可从室外监控，设计方便与其他自动化设备集成。除了扩散炉外，其附带的全套配件还包括一个模块化气体箱系统，该系统允许安全处理和供应各种气体和材料。它配有热电偶界面，允许用户实时监控过程。所提供的电源能够将4KW送入腔室。提供了一种先进的双波形射频发电机，以确保腔室的最佳电离。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT的扩散炉设计方便快捷。它配备了安装在腔盖上的可移动歧管，以及在工艺腔室的扩散区域提供恒定温度的温度控制系统。腔室可以在不同的大气中操作，包括氦气、氙气和氮气。总体而言，UX-11P10-4HT是为半导体工业设计的先进高效的扩散炉系统。配备了随附的配件和软件，满足了标准扩散过程的所有需求。它的设计考虑到了可靠性和安全性，确保了用户在流程中的安心和优异的效果。