二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198285 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT
ID: 9198285
晶圆大小: 6"
Horizontal furnace, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是一种扩散炉仪器和随附的附件包,设计用于半导体制造、太阳能电池研究和其他易碎敏感材料研究等领域的广泛应用。这种特殊的装置是一种水平平行板、四区炉,设计用于真空环境中的高效热处理,具有广泛的工艺气体控制。在每个区域放置多组上下电极,以确保材料加热到所需温度时的均匀温度。这些电极连接到电子电源系统,允许精确控制电流和电压电平。这种配置还允许在炉子的使用方式上有更大的灵活性;炉子的四个区域可以运行独立的程序,每个程序的温度是分开的。炉膛本身是为了一个高效的传热而设计的,有一个大批量生产的拉环石墨结构优化以吸收和传递能量。热区设计采用全脸帽形状均匀加热,采用双增强氮化硼绝缘,确保炉顶至炉底温度均匀均匀。整个系统安装在1级真空容器上,为低压处理创造了适当的环境。软件包还包括编程附件,允许精确调整温度和其他参数。EasyGap软件包使编程更加高效和易于使用。此软件包包括基于参数的设置,为实验者提供了更大的灵活性。用户可以控制真空压力、斜坡、温度传感器位置、冷却速度等多个参数。最后,包装包括各种传感器,用于监测扩散过程期间和之后的过程参数。这些传感器的范围从氧气和氢气压力传感器、温度传感器和发射传感器。使用这些传感器,用户可以跟踪和记录扩散过程中的过程条件和进度。总体而言,TEL UX-11P10-4HT扩散炉和附件包装为精确高效的热处理和研究提供了捆绑解决方桉。凭借其全面的硬件和软件包,能够准确可靠地处理最精致、最敏感的材料。
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