二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198286 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是一种先进的集成式扩散炉及附件设备,可为各种应用提供精确的热处理能力。这种多边形顶部装载装置由不锈钢部件构成，具有三区安全壳，具有密封门机构，以确保最大程度的过程重复性和安全性。该系统由一个单区四室阵列发挥作用，该阵列在两个相对的侧面有直接加热元件，并有一个基于专利"箭头"热扩散设计的中心元件。扩散细胞的活动区域包括一个热区、暖区和冷区，每个都有独立的温度控制，最高温度为1150 °C。TiN球面工艺站适合均匀扩散过程，为工业特有的氧化过程和其他气体提供灵活可靠的解决方桉。配备原位发射率监测，TEL UX-11P10-4HT在扩散细胞内提供卓越的温度均匀性和稳定性。板载分析工具可通过气体和温度测量对过程进行实时监测。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT的附加功能包括带有卡式转接器板的自动晶片卡式製程、全封闭的活性气淋浴、组合的负载锁/腔室卸载单元，以及多重快速热处理能力。此外，该机器还配备了内置的、低调的气体输送工具，以提供一致的加工气体供应。该资产还配备了一些用户友好的增强功能,例如易于访问的维护模型和数字温度读出显示器,以及用于分析和跟踪的直观过程软件设备。综上所述，UX-11P10-4HT是一个先进的、集成的扩散炉及附件系统，具有各种应用的精确热处理能力。其密封门机构、三区安全壳、原位发射率监测，在加工单元内提供了优越的温度均匀性和稳定性。TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT具有自动晶片盒工艺和多种快速热工艺功能,其功能包装设计非常适合提供一致的工艺气体供应和方便用户使用的增强功能。