二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9377249 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT
ID: 9377249
晶圆大小: 6"
Horizontal furnaces, 6" Gases: H2, O2, N2.
TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是设计用于各种半导体应用的高端扩散炉及相关配件。完整的设备设有扩散主机、多用户盒式磁带托盘、盒式磁带衬里、温度传感器和温度控制器。扩散大型机是一个8插槽平台,设计用来容纳多达8个大小为248mm的盒式磁带,这些盒式磁带直接放置在大型机的插槽中,并使用特殊夹具固定。盒式磁带托盘是一个多用户系统,设计可容纳多达8个大小各异的盒式磁带。盒式衬里有助于均匀的热量分布,防止氧化和促进温度均匀.这与特殊夹具相结合,可确保整个设备的温度均匀,从而使机器的所有组件在可接受的误差范围内达到一致的温度。用于TEL UX-11P10-4HT的温度控制器设计用于整个工具中所有辅助功能的精确温度控制和控制,并针对所有基本功能中温度设置点和变化速度的精确控制进行了优化。它能够控制室温和1250°C之间的温度。温度控制可以通过三种不同的范围来实现-高范围(最高550C)、中范围(最高450C和更低)和低范围(最低350C和更低)。温度控制器连接到多个温度传感器,以监控整个资产的温度,以获得准确和详细的温度读数。总体而言,TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是一种先进的扩散炉及配件模型,旨在为半导体器件提供精确的温度控制和加工原料。采用专用夹具、多用户盒式托盘、温度控制器,对设备进行优化,确保高端半导体器件的最佳运行和产量。
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